[发明专利]用于离子束注入机的等离子体电子流有效
| 申请号： | 200880115028.2 | 申请日： | 2008-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101849275A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 玻·范登堡;威廉·狄佛吉利欧 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/077 | 分类号： | H01J37/077;H01J3/00;H01J37/02;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种等离子体电子流系统，包括构造为包含气体的壳体，并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极，并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通，所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极，其中所述电子通过所述细长引出缝被释放，作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子束 注入 等离子体 电子流 | ||
【主权项】：
一种等离子体电子流系统，所述等离子体电子流系统包括：具有放电腔的壳体，所述放电腔构造为包含气体，并且所述等离子体电子流系统包括位于其中的细长引出缝、阴极丝、阴极组件和多个阳极；并且其中所述细长引出缝与离子注入系统直接连通；其中所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极丝和所述多个阳极之间的电势差被吸引到所述多个阳极；其中所述电子的一部分通过所述细长引出缝引出，作为电子带用于中和在所述离子注入系统内行进的离子束。
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