[发明专利]与测试器件一起使用的加固器组件无效
| 申请号： | 200880115168.X | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN101855559A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·D·霍布斯;安德鲁·W·麦克法兰 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;H01L21/66;H01R12/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于与测试器件一起使用的加固器组件。在某些实施例中，用于与测试器件一起使用的加固器组件可以是探针卡组件的一部分，该探针卡组件可以包括：加固器组件，加固器组件包括耦合至多个下加固器的上加固器；以及约束在上加固器和多个下加固器之间的基片，加固器组件限制基片的非平面挠曲并同时促进基片相对于加固器组件的径向运动。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 器件 一起 使用 加固 组件 | ||
【主权项】：
一种探针卡组件，包括：加固器组件，包括耦合至多个下加固器的上加固器；以及约束在所述上加固器和所述多个下加固器之间的基片，所述加固器组件限制所述基片的非平面挠曲并同时促进所述基片相对于所述加固器组件的径向运动。
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