[发明专利]偏航率传感器

摘要

本发明涉及一种偏航率传感器，具有衬底和多个可运动的部分结构，所述可运动的部分结构设置在所述衬底的表面上方，其中，所述可运动的部分结构与一个共同的、尤其是中央弹簧元件耦合，设有用于激励所述可运动的部分结构在与所述衬底的表面平行的平面中作耦合的振动的器件，所述可运动的部分结构具有科氏元件，设有用于验证所述科氏元件的由科氏力引起的偏移的器件，设有用于检测绕第一轴的偏航率的第一科氏元件，设有用于检测绕第二轴的偏航率的第二科氏元件，所述第二轴与所述第一轴垂直地定向。

主权项

偏航率传感器，具有衬底(50)和多个可运动的部分结构(51)，所述可运动的部分结构设置在所述衬底(50)的表面上方，其特征在于，所述可运动的部分结构(51)与一个共同的、尤其是中央弹簧元件(101，501，1501)耦合，设有器件(56，1504)，用于激励所述可运动的部分结构(51)在与所述衬底(50)的表面平行的平面中作耦合的振动，所述可运动的部分结构(51)具有科氏元件(58)，设有用于验证所述科氏元件(58)的由科氏力引起的偏移的器件(73，74，83，94)，设有用于验证绕第一轴的偏航率的第一科氏元件(58)，设有用于验证绕第二轴的偏航率的第二科氏元件(58)，所述第二轴与所述第一轴不平行地，尤其是垂直地定向。