[发明专利]硅-金属复合微机械部件及其制造方法有效
| 申请号： | 200880116149.9 | 申请日： | 2008-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN101861281A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | J-C·法卡布里诺;M·韦拉尔多;T·科尼斯;J-P·蒂埃博;J-B·彼德斯 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00;C25D1/00;G04B13/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 吴鹏;厉锦 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种结合有DRIE和LIGA工艺的制造硅-金属复合微机械部件的方法(1)。本发明还涉及一种微机械部件(51)，该微机械部件包括一个层，具有硅部分(53)和金属部分(41)，从而形成复合微机械部件(51)。本发明可用于钟表机芯领域。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 复合 微机 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造硅-金属复合微机械部件(51、51’、51”)的方法(1)，包括下列步骤：a)准备(11)基板(3)，所述基板(3)包括硅顶层(5)和硅底层(7)以及在所述硅顶层(5)和硅底层(7)之间延伸的中间二氧化硅层(9)；b)在所述顶层(5)内选择性地蚀刻(13)至少一个腔室(37、45、45”)以限定所述部件的硅部分(53、53”)的图案；c)在所述中间层内继续蚀刻(15)所述至少一个腔室(37、45、45”)；其特征在于还包括下列步骤：d)至少从所述至少一个腔室(37、45、45”)的一部分生长(17、21、23)金属层(63)以在所述部件的厚度内形成金属部分(41、41’、41”)，以使得所述微机械部件的硅部分(53、53”)免于破坏性的应力；e)从所述基板(3)释放(33)硅-金属复合微机械部件(51、51’、51”)。
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