[发明专利]傅立叶变换偏转测量系统和方法

摘要

本发明涉及一种用于光学检验相位和振幅对象2的傅立叶变换偏转测量系统和方法，该相位和振幅对象2被放置在光栅3和成像系统4之间的光径中、与光栅3的距离为h。光栅3形成了在图像平面的x，y正交轴上分别具有空间频率μ₀，v₀的基于对比的周期图形，以及所述成像系统4包括物镜5和含有多个光敏元件的成像传感器6。空间频率μ₀，v₀等于或小于成像系统在x、y轴上的相应尼奎斯特频率。根据本发明的方法，首先通过物镜5、由成像传感器6获取被相位和振幅对象2失真的所述图形的第一图像。而后，在空间频域中计算所述第一图像的傅立叶变换；选择所述傅立叶变换的至少一个一阶或更高阶谱，并在所述频域中将其移位，以便将它基本置于所述傅立叶变换的中心频率；以及对所述傅立叶变换的所述至少一个移位的一阶或更高阶谱执行傅立叶逆变换，以便获取复函数，其中I(x，y)是强度，而是根据以下公式分别与在x，y轴方向上的光偏转角θ_x，θ_y有关的相位。

主权项

1.一种用于光学检验相位和振幅对象(2)的偏转测量方法，该相位和振幅对象(2)被放置在单个光栅(3)和成像系统(4)之间的光径中、与光栅(3)的距离为h，其中，光栅(3)形成了在图像平面的x，y正交轴上分别具有空间频率μ₀，ν₀的基于对比的周期图形，以及所述成像系统(4)包括物镜(5)和含有多个光敏元件的成像传感器(6)，其中该方法包括步骤：--通过物镜(5)、由成像传感器(6)获取被相位和振幅对象(2)失真的所述图形的图像(601)；其特征在于，所述空间频率μ₀，ν₀不高于成像系统(4)在所述x，y轴上的相应尼奎斯特频率，且该方法还包括步骤：--在空间频域计算所述第一图像(601)的傅立叶变换；--选择所述傅立叶变换的至少一个一阶或更高阶谱(702)，并在所述频域中将其移位，以便将它基本置于所述傅立叶变换的中心频率；以及--对所述傅立叶变换的至少一个移位的一阶或更高阶谱(702)执行傅立叶逆变换，以便获取复函数其中I(x，y)是强度，而是根据以下公式分别与在x，y轴方向上的光偏转角θ_x，θ_y有关的相位。