[发明专利]用于借助于平行的激光射线加工工件的装置

摘要

本发明涉及一种用于通过多条至少接近平行的激光射线(3’、3”、4’、4”)加工工件(2)的装置(1)，所述激光射线构成外部的第一激光射线对(3)和内部的第二激光射线对(4)，在多个反射面(8’、8”、9’、9”、10’、10”、11’、11”、12’、12”)上，外部的第一激光射线对(3)的激光射线(3’、3”)转向正好三次，并且内部的第二激光射线对(4)的激光射线(4’、4”)转向正好一次。这个反射比例3∶1导致，即所有激光射线(3’、3”、4’、4”)到各自相邻的激光射线(3’、3”、4’、4”)的距离(a’、a”)与绝对的任意可调节的位置无关地保持恒定。为了避免聚焦面(6)的移动，在此相应配设于激光射线(3’、3”、4’、4”)的聚焦镜组(5)也能与通过反射镜(14’、14”)的反射面(10’、10”、11’、11”、12’、12”)一起借助于一个单独的驱动装置共同地移动。

主权项

一种用于通过多条平行的激光射线(3’、3”、4’、4”)加工工件(2)的装置(1)，其中所述装置(1)设有至少一个聚焦镜组(5)，用于将每条激光射线(3’、3”、4’、4”)聚焦到一个共同的聚焦面(6)上，其特征在于，激光射线(3’、3”、4’、4”)构成至少两个激光射线对(3、4)，并且每个激光射线对(3、4)通过两条相对于对称轴(7)间隔相同距离的激光射线(3’、3”和4’、4”)构成，其中为了调节相邻的激光射线(3’、3”、4’、4”)在聚焦面(6)上的相对距离(a’、a”)，每条激光射线(3’、3”、4’、4”)在反射面(8’、8”、9’、9”、10’、10”、11’、11”、12’、12”)上通过两个沿对称轴(7)的方向与聚焦镜组(5)一起能彼此相对移动的反射镜(13、14’、14”)转向，其中第一激光射线对(3)的激光射线(3’、3”)在反射镜(13、14’、14”)上的反射次数相应于第二激光射线对(4)的激光射线(4’、4”)在反射镜(13、14’、14”)上的反射次数的三倍，其中反射面(8’、8”、9’、9”、10’、10”、11’、11”、12’、12”)相对于对称轴(7)具有+45°或者-45°角。