[发明专利]干涉仪设备及其运行方法

摘要

本发明涉及干涉仪设备及其运行方法。干涉仪设备包括具有干涉仪光源的干涉仪，干涉仪光源发出的辐射可分配到测量臂和参考臂中，其中测量对象被布置在测量臂中并且干涉仪提供依赖于测量对象位置的干涉仪信号。干涉仪设备还包括检测装置，用于检测测量臂和/或参考臂中的空气的折射率的波动。在此，检测装置包括光谱仪单元；光谱仪单元具有至少一个光谱仪光源以及至少一个光谱仪探测器单元。由光谱仪光源发出的射束与干涉仪光源的射束相叠加，其中光谱仪光源发出具有如下波长的辐射：该波长处于至少一种确定的空气成分的吸收线范围内。光谱仪探测器单元用于生成光谱仪信号，光谱仪信号表征空气成分在测量臂和/或参考臂中关于光谱仪光源波长的吸收。

主权项

一种干涉仪设备，包括：-干涉仪(10；100；1000；1000′)，具有干涉仪光源(11；111；351)，该干涉仪光源(11；111；351)发出的辐射能够分配到测量臂和参考臂(M，R)中，其中测量对象被布置在测量臂(M)中，并且干涉仪(10；100；1000；1000′)提供依赖于所述测量对象的位置的干涉仪信号(SI1-SI4)；以及-检测装置，用于检测测量臂和/或参考臂(M，R)中的空气的折射率的波动；其特征在于，所述检测装置包括光谱仪单元(50；150；250；250′；450)，其中光谱仪单元(50；150；250；250′；450)具有至少以下部件：-光谱仪光源(51；151；251；351；451)，该光谱仪光源(51；151；251；351；451)发出的射束与干涉仪光源(11；111；351)的射束相叠加，并且该光谱仪光源(51；151；251；351；451)发出具有波长(λS)的辐射，该波长(λS)处于至少一个确定的空气成分(ε)的吸收线范围内；-至少一个光谱仪探测器单元(52；520)，用于生成光谱仪信号(SS1，SS2)，该光谱仪信号(SS1，SS2)表征空气成分(ε)在测量臂和/或参考臂(M，R)中关于光谱仪光源波长(λS)的吸收。