[发明专利]一种多晶硅化学机械抛光液有效
| 申请号： | 200880117646.0 | 申请日： | 2008-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101868511A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 荆建芬;杨春晓;王晨 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 中国上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种多晶硅化学机械抛光液，其含有：研磨颗粒、水和至少一种具有两个以上 |
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| 搜索关键词： | 一种 多晶 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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