[发明专利]具有集成保护性流槽的耐用MEMS流量裸片无效
| 申请号： | 200880118427.4 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101878526A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | L·F·里克斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | H01L23/10 | 分类号： | H01L23/10;H01L23/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;蒋骏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种MEMS流量传感器具有避开引线接合焊盘和辅助电路元件的流槽。流体可以从传感器衬底的底部移动，通过入口孔，在衬底顶部的传感元件上方移动，并且然后通过出口孔。入口孔和出口孔可以从衬底底部穿到衬底底部。顶帽可以被固定于衬底顶部，以使得它覆盖传感元件、入口孔和出口孔。顶帽限制了流槽并且阻止流体-或气体或液体离开该槽并接触引线接合焊盘或辅助电路元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 保护性 耐用 mems 流量 | ||
【主权项】：
其中要求保护专有所有权或权利的本发明的实施例由下文限定。对在此描述的发明要求如下：1.一种系统，包括：衬底，具有顶面和底面；传感元件，电连接到顶面上的多个引线接合焊盘；入口孔和出口孔，从顶面到底面穿过衬底；以及固定于顶面的顶帽，其中顶帽覆盖入口孔、传感元件以及出口孔，以使得流入入口孔的流体在传感元件的上方流动并且流出出口孔，并且其中顶帽防止流体接触引线接合焊盘。
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