[发明专利]微机械超声换能器中的可变工作电压

摘要

cMUT和cMUT工作方法使用有具有不同频率特性的两个分量的输入信号。第一分量主要有在cMUT的频率响应带内的声频率而第二分量主要有在该频率响应带外的频率。偏置信号和输入信号的第二分量一起将工作电压应用到cMUT上。工作电压在工作模式如发送模式和接收模式间是可变的。cMUT仅需要一个AC分量就允许可变的工作电压。这使得偏置信号由多个cMUT元件共享并简化制造过程。cMUT和工作方法的实现尤其适合接收模式接收较高的谐波频率的超声谐波成像。

主权项

一种电容式微机械超声换能器(cMUT)系统，所述系统包括：偏置信号端；输入信号端；至少第一cMUT元件，其连接到所述偏置信号端和所述输入信号端；偏置信号源，其与所述偏置信号端相连以将偏置信号应用到所述第一cMUT元件；以及输入信号源，其与所述输入信号端相连，所述输入信号源操作以将输入信号应用到所述第一cMUT元件，所述输入信号包括第一输入信号分量和第二输入信号分量，所述第一输入信号分量主要有在所述第一cMUT元件的频率响应带内的声频率，且所述第二输入信号分量主要有实质上在所述第一cMUT元件的所述频率响应带之外的声频率，且其中所述第二输入信号分量和所述偏置信号一起限定应用到所述第一cMUT元件的工作电压，所述工作电压在第一工作模式中与第二工作模式中不同。