[发明专利]使用线性扫描摄影机测量基板上的像素井中沉积墨水的方法及设备无效
| 申请号： | 200880119380.3 | 申请日： | 2008-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101889239A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 上泉元;约翰·M·怀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1335;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用来测量基板中的沉积墨水的方法和系统。本发明包含一光源以及具有CCD传感器阵列的摄影机，其中该光源用于提供光线以穿过基板上的沉积墨水，该摄影机则用以测量穿透沉积墨水的光线量。本发明还提供多种其它方案。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 线性 扫描 摄影机 测量 基板上 像素 沉积 墨水 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种系统，包括：光源，用以传送光线通过沉积在基板上的墨水；以及具有传感器阵列的摄影机，其中该摄影机用以测量穿透沉积墨水的光线量，其中该传感器阵列中一子集的列用以相继地扫描该沉积墨水的一选定线。
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