[发明专利]检查装置和检查方法无效
| 申请号： | 200880119596.X | 申请日： | 2008-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101889197A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 吉川透 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/24;G01B11/245;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查装置和检查方法。本发明的检查装置(1)在设定为使DMD元件(31)的像素(微镜)全部成为ON状态而使来自晶圆(W)的光全部向二维摄像元件(33)引导时，根据由二维摄像元件(33)检测得到的傅立叶图像的亮度信息，求出DMD元件(31)的像素中将来自晶圆(W)的光向检测元件(36a、36b、36c)引导的像素，使求出的DMD元件(31)的像素成为OFF状态，通过OFF状态的像素反射来自晶圆(W)的光的一部分，并向检测元件(36a、36b、36c)引导。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其特征在于，包括：照明部，向被检测基板的表面照射照明光；光路切换部，具有多个光路切换元件，能够在一个方向和另一方向间切换上述多个光路切换元件各自的反射方向；二维图像传感器，在上述光路切换元件朝向上述一个方向时，能够检测来自被照射了上述照明光的上述被检测基板的光；光传感器，在上述光路切换元件朝向上述另一方向时，能够检测来自被照射了上述照明光的上述被检测基板的光；控制部，控制上述光路切换部的动作；和检查部，根据由上述光传感器检测得到的信息，检查上述被检测基板的表面，上述控制部进行控制，使上述光路切换元件朝向上述一个方向，根据由上述二维图像传感器检测得到的信息求出上述二维图像传感器的检测区域中适于上述检查的部分，并使与上述求出的适于上述检查的部分对应的上述光路切换元件朝向上述另一方向，上述检查部根据在与适于上述检查的部分对应的上述光路切换元件朝向上述另一方向的状态下由上述光传感器检测得到的信息，进行上述检查。
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