[发明专利]观察装置和观察方法

摘要

本发明提供一种观察装置和观察方法。本发明的观察装置包括能够部分地拍摄晶圆(10)的摄像部，利用通过使摄像部的摄像区域相对于晶圆(10)的圆周方向移动的同时拍摄多个晶圆(10)(顶端部13)的部分而得到的、多个摄像区域中的晶圆(10)的部分图像(A、A、…)，进行晶圆(10)的表面观察，其中，具有：图像连接部，对多个部分图像(A、A、…)，分别进行以使与晶圆(10)的圆周方向对应的方向上的压缩比大于与其垂直的方向的方式进行图像压缩的处理，并且在圆周方向上排列地彼此连接，而使之成为能够在圆周方向上连续识别晶圆(10)的顶端部(13)的连接图像(B)；和图像显示部，显示由图像连接部连接了的连接图像(B)。

主权项

一种观察装置，包括能够部分地拍摄被观察物的摄像部，利用通过使上述摄像部的摄像区域相对于上述被观察物移动的同时拍摄多个上述被观察物的部分而得到的、多个上述摄像区域中的上述被观察物的部分图像，进行上述被观察物的表面观察，其特征在于，具有：图像连接部，对多个上述部分图像，分别进行以使与上述相对移动对应的方向上的压缩比大于与上述相对移动方向垂直的方向的方式进行图像压缩的处理，并且在上述相对移动方向上排列地彼此连接，而使之成为能够在上述相对移动方向上连续识别上述被观察物的部分的连接图像；和图像显示部，显示由上述图像连接部连接了的上述连接图像。