[发明专利]观察装置和观察方法无效

专利信息
申请号: 200880119597.4 申请日: 2008-12-02
公开(公告)号: CN101889198A 公开(公告)日: 2010-11-17
发明(设计)人: 冈本裕昭 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956;G06T1/00;H01L21/66
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 谢丽娜;关兆辉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种观察装置和观察方法。本发明的观察装置包括能够部分地拍摄晶圆(10)的摄像部,利用通过使摄像部的摄像区域相对于晶圆(10)的圆周方向移动的同时拍摄多个晶圆(10)(顶端部13)的部分而得到的、多个摄像区域中的晶圆(10)的部分图像(A、A、…),进行晶圆(10)的表面观察,其中,具有:图像连接部,对多个部分图像(A、A、…),分别进行以使与晶圆(10)的圆周方向对应的方向上的压缩比大于与其垂直的方向的方式进行图像压缩的处理,并且在圆周方向上排列地彼此连接,而使之成为能够在圆周方向上连续识别晶圆(10)的顶端部(13)的连接图像(B);和图像显示部,显示由图像连接部连接了的连接图像(B)。
搜索关键词: 观察 装置 方法
【主权项】:
一种观察装置,包括能够部分地拍摄被观察物的摄像部,利用通过使上述摄像部的摄像区域相对于上述被观察物移动的同时拍摄多个上述被观察物的部分而得到的、多个上述摄像区域中的上述被观察物的部分图像,进行上述被观察物的表面观察,其特征在于,具有:图像连接部,对多个上述部分图像,分别进行以使与上述相对移动对应的方向上的压缩比大于与上述相对移动方向垂直的方向的方式进行图像压缩的处理,并且在上述相对移动方向上排列地彼此连接,而使之成为能够在上述相对移动方向上连续识别上述被观察物的部分的连接图像;和图像显示部,显示由上述图像连接部连接了的上述连接图像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康,未经株式会社尼康许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200880119597.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top