[发明专利]基于接触线移动跟踪控制的高吞吐量刻印有效
申请号: | 200880119657.2 | 申请日: | 2008-12-04 |
公开(公告)号: | CN101884019A | 公开(公告)日: | 2010-11-10 |
发明(设计)人: | 吕晓明;P·D·苏马克 | 申请(专利权)人: | 分子制模股份有限公司 |
主分类号: | G05B19/18 | 分类号: | G05B19/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 李玲 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 描述了在刻印可聚合的材料期间用于控制模板与基板之间的接触线的速度以及高度分布的系统和方法。 | ||
搜索关键词: | 基于 接触 移动 跟踪 控制 吞吐量 刻印 | ||
【主权项】:
一种控制系统,在基板上刻印可聚合的材料期间所述控制系统控制模板与基板之间的接触线的速度以及高度分布,所述控制系统包括:刻印头,所述刻印头具有多个致动器,能够向模板提供预定大小的力;卡盘,所述卡盘位于模板附近并且能够向模板提供预定大小的压强,预定大小的力和预定大小的压强对模板提供施加的力和施加的压强,从而产生模板与基板之间的第一接触线速度以及模板与基板之间的第一高度分布;至少一个力传感器,位于模板与基板之间并且能够对模板提供施加的力和施加的压强的第一信号;以及控制器,所述控制器与力传感器、致动器和卡盘相连通,所述控制器能够接收来自力传感器的第一信号并且评估该第一信号以向致动器和卡盘提供第二信号,所述第二信号具有经调节过的力和经调节过的压强以提供模板与基板之间的接触线的第二速度以及模板与基板之间的第二高度分布。
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