[发明专利]双等离子体离子源无效
| 申请号： | 200880121971.4 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101903970A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 威廉·狄贝尔吉利欧 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种离子源(100)包括第一等离子体腔(102)和第二等离子体腔(116)。第一等离子体腔(102)包括等离子体产生部件(104)和用于接收第一气体的第一进气口(122)，以使等离子体产生部件(104)与第一气体相互作用以在第一等离子体腔(102)中产生第一等离子体，其中第一等离子体腔(102)还限定了用于从第一等离子体引出电子的孔(114)；第二等离子体腔(116)包括用于接收第二气体的第二进气口(118)，其中第二等离子体腔(116)还限定了实质上与第一等离子体腔(102)的孔(112)对准的、用于接收从其中引出的电子的孔(117)，以使电子与第二气体相互作用，以在第二等离子体腔(116)中产生第二等离子体，且第二等离子体腔(116)还限定了用于从第二等离子体引出离子的引出孔(120)。 | ||
| 搜索关键词： | 双等离子体离子源 | ||
【主权项】：
一种离子源，所述离子源包括：第一等离子体腔，所述第一等离子体腔包括等离子体产生部件和用于接收第一气体的第一进气口，以使所述等离子体产生部件与所述第一气体相互作用以在所述第一等离子体腔中产生第一等离子体，其中所述第一等离子体腔还限定了用于从所述第一等离子体引出电子的孔；和第二等离子体腔，所述第二等离子体腔包括用于接收第二气体的第二进气口，其中所述第二等离子体腔还限定了实质上与所述第一等离子体腔的孔对准的用于接收从其中引出的电子的孔，以使所述电子与所述第二气体相互作用，以在所述第二等离子体腔中产生第二等离子体，所述第二等离子体腔还限定了用于从所述第二等离子体引出离子的引出孔。
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