[发明专利]形成半导体薄膜的方法和制造薄膜半导体器件的方法

摘要

本发明涉及形成半导体薄膜的方法和制造薄膜半导体器件的方法，提供一种用于形成半导体薄膜的方法，其能抑制由于受热导致的迁移率降低和由于迁移率降低导致的特性劣化，并且能够通过更简单的工艺形成具有改善的耐热性的半导体薄膜。在衬底上涂覆或印刷通过混合包括有机半导体材料在内的多种有机材料所制备的溶液以形成薄膜，并且通过干燥薄膜的过程使得所述多种有机材料发生相分离。结果，获得多层结构的半导体薄膜，其中，由有机绝缘材料组成的中间层被夹在两个半导体层中间。

主权项

一种用于形成半导体薄膜的方法，包括：通过在衬底上涂覆或印刷溶液而形成薄膜，所述溶液是通过混合包括有机半导体材料在内的多种有机材料所制备的；以及在用于干燥所述薄膜的过程中使得所述多种有机材料发生相分离，以形成多层结构的半导体薄膜，所述多层结构的半导体薄膜包括由所述有机半导体材料组成的半导体层。