[发明专利]透明导电膜的成膜方法和成膜装置有效
| 申请号： | 200880122587.6 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101910449A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 高桥明久;石桥晓 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35;H01B13/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 陈万青;王珍仙 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明导电膜的成膜方法，使用含有氧化锌类材料的靶，通过溅射在基板上形成氧化锌类透明导电膜，在含有选自氢气、氧气和水蒸气中的两种或三种的反应性气体气氛中进行上述溅射。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种透明导电膜的成膜方法，使用含有氧化锌类材料的靶，通过溅射在基板上形成氧化锌类透明导电膜，在含有选自氢气、氧气和水蒸气中的两种或三种的反应性气体气氛中进行所述溅射。
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