[发明专利]复制母模的方法有效
| 申请号： | 200880122619.2 | 申请日： | 2008-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101910942A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张俊颖;特里·L·史密斯;张海燕 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张爽;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开提供了一种使用图案化的有机硅子模具由母模复制母模的方法，所述子模具在其所述图案化的表面上具有一层延展性金属。 | ||
| 搜索关键词： | 复制 方法 | ||
【主权项】：
一种复制模具的方法，该方法包括以下步骤：a)提供图案化的有机硅子模具；b)将一层延展性金属沉积在所述子模具的图案化表面上；c)将一层镍金属沉积在所述子模具的图案化表面上；d)任选地将步骤c的制品固定至基材；e)将所述已沉积的具有图案化表面的镍层分离以产生副母模，所述图案化表面上具有一层延展性金属。
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