[发明专利]传送机器人的诊断系统

摘要

提供不导致部件件数的增加就能提高运转率的低成本的传送机器人的诊断系统。在处理室(C)之间通过机械臂(11)传送基板(S)时，如通过任意的检测单元(2)检测到机械臂(11)时，取得由检测单元(2)检测出的机械臂(11)的动作数据来制作基准值。并且，机械臂(11)每次被检测单元(2)检测到时取得动作数据，将其与上述基准值进行比较，在超出预定的范围而发生变化时判断传送机器人的异常。

主权项

一种传送机器人的诊断系统，其特征在于，包括：传送机器人，包括在前端具有支承要处理的基板的机械手的机械臂以及驱动该机械臂的驱动单元；和至少一个检测单元，配置成当利用上述机械臂在多个处理室之间传送基板时，能检测由机械手支承的基板，在上述处理室之间通过机械臂传送基板时，通过任意的检测单元检测到机械臂的预定部分时，取得由该检测单元检测出的机械臂的动作数据来制作基准值，当由上述检测单元检测出上述机械臂的预定部分时，取得此时的动作数据，将该动作数据与上述基准值进行比较，在超出预定的范围而发生变化时判断传送机器人的异常。