[发明专利]连续或半连续激光沉积的方法和系统无效
| 申请号： | 200880122664.8 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101910452A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 弗朗西斯库斯·科尔内留斯·丁斯;沃特鲁斯·约翰内斯·玛丽亚·布罗克 | 申请（专利权）人： | OTB太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及通过激光蒸发沉积材料的方法，其中所采用的激光器是连续或半连续激光器。使用这样的激光器，可以以受控方式从靶表面的液体或液化靶材料的局部池蒸发靶材料。本发明还提供用于执行所述方法的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 激光 沉积 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于激光沉积的方法，包括：提供第一激光器(3)，提供沉积腔室，在所述沉积腔室中提供基本上激光蒸发的材料的靶(1)，在所述沉积腔室中提供衬底(2)，将所述沉积腔室抽真空至低于大气压，操作所述第一激光器(3)从而将第一激光束(3’)引向所述靶(1)从而形成激光蒸发材料云(8)，将所述衬底(2)至少部分地设置在激光蒸发材料的所述云(8)内，在所述衬底(2)上沉积所述激光蒸发材料，其特征在于：所述第一激光器(3)是连续或半连续激光器，其中半连续激光器是脉冲激光器，其脉冲频率小于1kHz，脉冲宽度为至少0.0001秒。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于OTB太阳能有限公司，未经OTB太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880122664.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
