[发明专利]浮区熔化装置无效
| 申请号： | 200880123151.9 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101910473A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 进藤勇 | 申请（专利权）人： | 株式会社水晶系统 |
| 主分类号： | C30B13/24 | 分类号： | C30B13/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种浮区熔化装置，其能稳定且可靠地进行特别是大口径样品棒的熔化，且能平坦地保持生长出的单晶的固液界面形状以生长出大口径的单晶。该浮区熔化装置将样品配置在由透明石英管构成的样品室内，并且使气氛气体流入上述样品室内，在这种状态下通过将从多个红外线照射元件照射出的红外线聚焦于上述样品来对样品进行加热、使其熔化以得到熔化液，并使该熔化液在晶种上固化以生长出单晶，上述多个红外线照射元件包括：多个下方照射型的红外线照射元件，该下方照射型的红外线照射元件从斜上方朝下方照射红外线；以及多个上方照射型的红外线照射元件，该上方照射型的红外线照射元件从斜下方朝上方照射红外线。 | ||
| 搜索关键词： | 熔化 装置 | ||
【主权项】：
一种浮区熔化装置，其是红外线集中加热式的浮区熔化装置，将样品配置在由透明石英管构成的样品室内，并且使气氛气体流入所述样品室内，在这种状态下通过将从多个红外线照射元件照射出的红外线聚焦于所述样品来对样品进行加热、使其熔化以得到熔化液，并使该熔化液在晶种上固化以生长出单晶，其特征在于，所述多个红外线照射元件包括：多个下方照射型的红外线照射元件，该下方照射型的红外线照射元件从斜上方朝下方照射红外线；以及多个上方照射型的红外线照射元件，该上方照射型的红外线照射元件从斜下方朝上方照射红外线。
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