[发明专利]具有用于温度控制的流体区域的工件支撑

摘要

公开一种限定工件接收表面的工件支撑。工件支撑包括多个流体区域。诸如气体之类的流体供给到流体区域用于接触在工件支撑上的工件。流体可以具有选择的热传导特性，用于在特定的位置控制工件的温度。根据本公开，至少某些流体区域处在不同的方位角位置。以这种方式，工件的温度不仅可以在径向上调节，还可以在角度方向上调节。

主权项

一种在处理室中保持工件的工件支撑：限定用于接收和保持工件的工件接收表面的工件支撑；以及多个在所述工件接收表面上的隔开的流体区域，每一个流体区域与流体供应连通，用于在所述工件接收表面与位于所述工件接收表面上的工件之间产生流体压力，其中，当流体供给至每一个流体区域时，每一个流体区域都被加压，所述多个流体区域分隔开，而且，至少某些流体区域在所述工件接收表面上具有不同的方位角位置。