[发明专利]非晶氧化物和场效应晶体管有效
| 申请号： | 200880123969.0 | 申请日： | 2008-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101911304A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 板垣奈穗;A·戈雅尔;岩崎达哉 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种非晶氧化物至少包含：选自由In、Zn和Sn构成的组的至少一种元素；和Mo。该非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子％且小于等于5原子％。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
一种非晶氧化物，所述非晶氧化物至少包含：选自由In、Zn和Sn构成的组中的至少一种元素；和Mo，其中，所述非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子％且小于等于5原子％。
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