[发明专利]使用至少一个光源校准末端执行器对准的系统和方法

摘要

本发明提供一种用于校准末端执行器相对于等离子体处理系统中的卡盘的对准的方法。该方法包括提供从该末端执行器到该卡盘的第一光束。该方法包括使该末端执行器沿着预定校准路径移动以使该第一光束遍历该卡盘的表面。该方法还包括接收一组反射光信号，该组反射光信号是至少在该移动过程中该表面反射该第一光束时产生的。该方法包括分析该组反射光信号以识别三个或更多间断。该三个或更多间断与当该第一光束遇到该卡盘的边缘时产生的三个或更多反射光信号有关。该方法还包括根据该三个或更多间断确定三个或更多坐标数据点，该三个或更多坐标数据点代表该卡盘的该边缘上的三个或更多点。该方法包括根据该三个或更多坐标数据点确定该卡盘的中心。

主权项

一种用于校准末端执行器相对于等离子体处理系统中的卡盘的对准的方法，所述方法包含：提供从所述末端执行器到所述卡盘的第一光束；使所述末端执行器沿着预定校准路径移动以使所述第一光束遍历所述卡盘的表面；接收一组反射光信号，所述组反射光信号是至少在该移动过程中所述表面反射所述第一光束时产生的；分析所述组反射光信号以识别三个或更多间断，其中所述三个或更多间断与当所述第一光束遇到所述卡盘的边缘时产生的三个或更多反射光信号有关；根据该三个或更多间断确定三个或更多坐标数据点，所述三个或更多坐标数据点代表所述卡盘的所述边缘上的三个或更多点；以及根据该三个或更多坐标数据点确定所述卡盘的中心。