[发明专利]用于动态对准束校准的系统和方法

摘要

提供一种在等离子处理系统中执行DA(动态对准)束校准的方法。该方法包括获得位置差，该位置差光学成像方法取得。该光学成像方法由下列步骤组成：将该晶片设在该末端执行器上，获得该晶片在该末端执行器上的静止图像，处理该静止图像以确定该晶片的中心和由该末端执行器限定的末端执行器限定中心，和确定该该晶片的中心和由该末端执行器限定的末端执行器限定中心之间的位置差。该方法还包括通过利用机器移动补偿来补偿该晶片和该末端执行器之间的位置差将晶片相对末端执行器定心。该方法包括移动该晶片和该末端执行器通过与等离子处理模块关联的DA束。该方法还包括通过记录DA束的中断-然后-恢复样式获得基准DA束样式。随着该晶片和该末端执行器移动通过该DA束，出现该中断-然后-恢复样式。

主权项

一种在等离子处理系统中执行DA(动态对准)束校准的方法，所述方法包括：获得位置差，所述位置差通过光学成像方法取得，所述光学成像方法包括：将晶片设在末端执行器上，取得所述晶片在所述末端执行器上的静止图像，处理所述静止图像以确定所述晶片的中心和由所述末端执行器限定的末端执行器限定中心，确定所述晶片的中心和所述由所述末端执行器限定的末端执行器限定中心之间的位置差，通过利用机器移动补偿来补偿所述晶片和所述末端执行器之间的所述位置差而将晶片相对末端执行器定心；移动所述晶片和所述末端执行器通过与等离子处理模块关联的DA束；和通过记录所述DA束的中断 然后 恢复样式获得基准DA束样式，所述中断 然后 恢复样式随着所述晶片和所述末端执行器移动通过所述DA束出现。