[发明专利]短蚀刻配方的气体传输延迟解决方案有效
| 申请号： | 200880124047.1 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101910706A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 伊克巴尔·沙瑞芙;马克·塔斯卡尔;托尼·泽姆洛克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | F17D3/03 | 分类号： | F17D3/03;F17D3/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海华晖信康知识产权代理事务所(普通合伙) 31244 | 代理人： | 樊英如 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一个实施方式中，一种用于提供多种气体的气体混合物的装置，具有多个质量流量控制器(MFC)，与多个MFC中每一个流体连通的混合歧管，位于该混合歧管上的多个混合歧管出口；以及与该多个混合歧管出口的每一个流体连通的隔离装置。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 配方 气体 传输 延迟 解决方案 | ||
【主权项】：
一种用于提供多种气体的气体混合物的装置，包含：多个质量流量控制器(MFC)；与该多个MFC中每一个流体连通的混合歧管；位于该混合歧管上的多个混合歧管出口；以及与该多个混合歧管出口流体连通的隔离装置。
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