[发明专利]使用压电体膜的振动陀螺仪及其制造方法无效
| 申请号： | 200880124317.9 | 申请日： | 2008-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101910790A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 池田隆志;西田宏;寅屋敷治;竹村充彦;藤村刚;荒木隆太;森口孝文;手嶋伸贵;平田泰之 | 申请（专利权）人： | 住友精密工业株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;杨勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的振动陀螺仪具有：具有均匀的平面的环状振动体(11)，灵活地支撑环状振动体(11)并具有固定端的支架部(15)，形成在平面上，并利用上层金属膜及下层金属膜在厚度方向上夹持压电体膜的多个电极(13a～13d)，及固定电位电极(16)；在N为2以上的自然数时，多个电极(13a～13d)具有：驱动电极(13a)，配置于彼此在圆周方向上隔开(360/N)°的角度处，用于在cosNθ的振动模式下激发该环状振动体(11)的一次振动，第1监测电极(13b)，配置于从驱动电极(13a)起向顺时针方向或逆时针方向隔开(90/N)°的角度处，用于检测对该环状振动体(11)施加角速度时所产生的二次振动，第2监测电极(13d)，配置于从第1检测电极(13b)起隔开(180/N)°的角度处，用于检测二次振动；各电极(13a)配置在从其振动体(11)的外周缘至其外周缘附近为止的区域及/或从内周缘至其内周缘附近为止的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 压电 振动 陀螺仪 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种振动陀螺仪，具有：环状振动体，具有均匀的平面，支架部，灵活地支撑所述环状振动体，并具有固定端，多个电极及固定电位电极，该多个电极形成在所述平面上，并利用上层金属膜及下层金属膜在厚度方向上夹持压电体膜；在N为2以上的自然数时，所述多个电极具有：一组驱动电极，配置于彼此在圆周方向上隔开(360/N)°的角度处，用于在cosNθ的振动模式下激发所述环状振动体的一次振动，一组第1检测电极，配置于从各所述驱动电极起向顺时针方向或逆时针方向隔开(90/N)°的角度处，用于检测对所述环状振动体施加角速度时所产生的二次振动，一组第2检测电极，配置于从各所述第1检测电极起隔开(180/N)°的角度处，用于检测所述二次振动；各所述驱动电极、各所述第1检测电极及各所述第2检测电极，配置在从所述环状振动体的外周缘至所述外周缘附近为止的区域及/或从内周缘至所述内周缘附近为止的区域。
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