[发明专利]扫描探针显微镜

摘要

本发明提供一种扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜为了检测悬臂(4)的位移，利用半透半反镜(20)取出从激光光源(11)射出的光的一部分，并将其导入到具有被分割为4部分的受光面的光检测器(21)中。当由周围温度的变化等导致射出光的射出方向倾斜时，光斑位置在光检测器(21)的受光面上移动，因此，能够根据其移动量和移动方向识别射出方向的倾斜量和倾斜方向。驱动量运算部(22)根据其倾斜量及方向计算驱动量，利用驱动器(23)使激光光源(11)绕Y轴和Z轴发生位移。由此，能够对射出光的射出方向的倾斜进行补偿，防止以为是试样表面的凹凸的误认。

主权项

一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，具备：a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述光源部，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。