[发明专利]角度测量设备和方法有效
申请号: | 200880127273.5 | 申请日: | 2008-02-22 |
公开(公告)号: | CN101952690A | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | A·格利姆;M·弗格尔 | 申请(专利权)人: | 特里伯耶拿有限公司 |
主分类号: | G01D5/24 | 分类号: | G01D5/24 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 杨晓光;张静娟 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 描述了用于高度精确地确定旋转角的角度测量设备和角度测量方法。角度测量设备包括:由多个光敏像素组成的成像单元;照明单元;面向成像单元并具有不同光学特性的周期性图案的图案构件,图案构件被设置成由照明单元照亮,以将图案构件的图像投影到成像单元上;以及角度确定单元,其根据在从投影图像产生的波形的相位和相应于参考位置的参考相位值之间的相移来确定图案构件相对于成像单元上的参考位置的旋转角,其中波形由光敏像素的测量值构成。 | ||
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【主权项】:
一种角度测量设备,包括:成像单元,该成像单元由多个光敏像素组成;照明单元,该照明单元用于照亮所述成像单元的至少一部分;图案构件,该图案构件面向所述成像单元并具有不同光学特性的周期性图案,所述图案构件围绕旋转轴枢轴转动地布置并被设置成由所述照明单元照亮,以将所述图案构件的图像投影到所述成像单元上;以及角度确定单元,该角度确定单元根据在从所投影的图像产生的波形的相位和相应于参考位置的参考相位值之间的相移,来确定所述图案构件相对于所述成像单元上的所述参考位置的旋转角,其中所述波形由所述光敏像素的测量值构成。
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