[发明专利]压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种压电振动器(1)，其中包括：基底基板(2)；盖基板(3)，形成有空腔用的凹部(3a)，并以使凹部与基底基板对置的状态接合到基底基板；压电振动片(4)，在两基板间形成的空腔内，接合至基底基板的上表面；一对外部电极(38、39)，形成在基底基板的下表面；一对贯通电极(32、33)，以贯通基底基板的方式形成，并与一对外部电极分别电连接；以及迂回电极(36、37)，形成在基底基板的上表面，并对压电振动片分别电连接一对贯通电极，贯通电极由形成在贯通孔(30、31)的内表面的电极膜(32a、33a)和以堵塞贯通孔的方式与贯通孔的内表面夹持电极膜而固接的玻璃体(32b、33b)形成。

主权项

一种压电振动器，其特征在于，包括：基底基板；盖基板，该盖基板形成有空腔用的凹部，以使该凹部与所述基底基板对置的状态接合于该基底基板；压电振动片，该压电振动片利用所述凹部而收容于在所述基底基板与所述盖基板之间形成的空腔内的状态下，接合在基底基板的上表面；一对外部电极，形成在所述基底基板的下表面；一对贯通电极，以贯通所述基底基板的方式形成，维持所述空腔内的气密并对所述一对外部电极分别电连接；以及迂回电极，形成在所述基底基板的上表面，并对所接合的所述压电振动片分别电连接所述一对贯通电极，所述贯通电极用电极膜和玻璃体形成，该电极膜成膜在贯通所述基底基板的贯通孔的内表面，该玻璃体以堵塞贯通孔的方式在与贯通孔的内表面之间夹着电极膜而固接。