[发明专利]压电薄膜谐振器、滤波器、通信模块及通信装置有效
| 申请号： | 200880127827.1 | 申请日： | 2008-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101960717A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 原基扬;西原时弘;谷口真司;坂下武;横山刚;岩城匡郁;上田政则 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;朱丽娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压电薄膜谐振器具有：基板(1)；中间层(7)，其配置在基板(1)上，由绝缘体形成；下部电极(3)，其配置在中间层(7)上；压电膜(4)，其配置在下部电极(3)上；以及上部电极(5)，其配置在隔着压电膜(4)与下部电极(3)相对向的位置处，在下部电极(3)与上部电极(5)相对向的谐振部(8)的区域内，在基板(1)和中间层(7)上，或在下部电极(3)与中间层(7)之间形成有空隙(6)，空隙(6)的区域包括在谐振部(8)的区域内。根据该结构，能够抑制振动能量从谐振区域散逸到基板，从而能够提高品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 谐振器 滤波器 通信 模块 装置 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜谐振器，其具有：基板；中间层，其配置在所述基板上，由绝缘体形成；下部电极，其配置在所述中间层上；压电膜，其配置在所述下部电极上；以及上部电极，其配置在隔着所述压电膜与所述下部电极相对向的位置处，在所述下部电极与所述上部电极相对向的谐振部的区域内，在所述基板和所述中间层，或在所述下部电极与所述中间层之间形成有空隙，所述空隙的区域包括在所述谐振部的区域内。
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