[发明专利]在射频等离子体中控制离子能量的方法有效
| 申请号： | 200880128271.8 | 申请日： | 2008-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101978461A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·乔治·休尔;乌韦·沙恩斯基;拉尔夫·皮特·布林克曼;托马斯·曼圣布拉克 | 申请（专利权）人： | 波鸿-鲁尔大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 戴建波 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种通过施加带有至少两个谐波分量且谐波分量间具有可控相对相位的RF电压、在等离子体操作装置中至少一个电极前建立DC偏压的方法，其中，至少一个较高频率分量是较低频率分量的偶次谐波。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 等离子体 控制 离子 能量 方法 | ||
【主权项】：
一种在等离子体操作装置(100、500、600、700、800或900)中至少一个电极(102、106、108、112、508、512、608、612、632、708、808、908或912)前建立DC偏压的方法，该方法是通过施加具有至少两个谐波分量、且谐波分量之间具有可控的相对相位的RF电压而实现的，其中，具有较高频率之分量中的至少一个是具有较低频率之分量的偶次谐波。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于波鸿-鲁尔大学，未经波鸿-鲁尔大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880128271.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：铅蓄电池用电极及其利用
- 下一篇：永久磁铁及永久磁铁的制造方法
