[发明专利]用于半导体面板的具有清洗室的等离子体清洗设备

摘要

本发明涉及用于在半导体制造过程中利用等离子体放电清洗半导体元件(清洗对象或PCB板)的等离子体清洗设备。更具体地，本发明涉及具有清洗室(100)的半导体等离子体清洗设备，其通过对放置在盒子中的清洗对象进行连续的等离子体清洗来提高工作效率。具有多个清洗室(100)的半导体等离子体清洗设备包括：直立地平行布置的多个清洗室(100)；卸载单元(200)，根据将其上装载有清洗对象的盒子接连地传送至每个清洗室(100)前部的清洗进行情况，可在上/下方向上移动；多个第一推动器(250)，安装至卸载单元(200)，以一个接一个地推动并排出由卸载单元(200)朝着清洗室传送的盒子中所装载的清洗对象；可转动传送单元(300)，用于从卸载单元(200)接收其中已排出所有清洗对象的空盒子，将空盒子水平地旋转180°，并将空盒子传送至等离子体清洗室的后部；装载单元(400)，用于从可转动传送单元(300)接收空盒子，并将空盒子接连地传送至每个等离子体清洗室(100)的后部，同时根据清洗进行情况从下侧移动至上侧；以及第二推动器(500)，用于将已完成清洗的清洗对象推动并装载到装载单元(400)处的空盒子中。

主权项

一种具有多个清洗室的半导体等离子体清洗设备，包括：直立地平行布置的多个清洗室；卸载单元，根据将其上装载有清洗对象的盒子接连地传送至每个清洗室前部的清洗进行情况，所述卸载单元可在上/下方向上移动；多个第一推动器，安装至所述卸载单元，以便一个接一个地推动并排出由所述卸载单元朝着清洗室传送的盒子中所装载的清洗对象；可转动传送单元，用于从所述卸载单元接收其中已排出所有清洗对象的空盒子，将所述空盒子水平地旋转180°，并将所述空盒子传送至等离子体清洗室的后部；装载单元，用于从所述可转动传送单元接收空盒子，并将所述空盒子接连地传送至每个等离子体清洗室的后部，同时根据清洗进行情况从下侧移动至上侧；以及第二推动器，用于将已完成清洗的清洗对象推动并装载到装载单元处的空盒子中。