[发明专利]痕量粒子收集系统无效
申请号: | 200880130373.3 | 申请日: | 2008-05-14 |
公开(公告)号: | CN102099665A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | S·N·邦克 | 申请(专利权)人: | 植入科学公司 |
主分类号: | G01N1/02 | 分类号: | G01N1/02 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 痕量粒子收集系统累积粘附到目标表面上的那些材料的痕量粒子。这些粒子被从所述表面去除、输送并收集在粒子收集介质中,然后提供给检测仪器。痕量粒子通常顽强粘附到目标表面上,简单的技术如吹送空气仅可去除最大的粒子甚或根本不能去除粒子。在此描述痕量粒子的去除,其利用气流中的冻结二氧化碳气溶胶粒子的气溶胶混合物冲击,从而更有效地从表面上去除目标粒子。 | ||
搜索关键词: | 痕量 粒子 收集 系统 | ||
【主权项】:
用于从目标表面移去和收集目标粒子的装置,所述装置包括:液化和加压二氧化碳的储罐;与所述储罐连通的至少一脉冲阀;与所述至少一脉冲阀连通并用于形成冻结二氧化碳粒子和二氧化碳气体的气溶胶混合物的至少一膨胀室;与所述至少一膨胀室连通的至少两个喷嘴,用于导引气溶胶混合物的喷雾使得重叠在所述至少两个喷嘴下游的单一焦点处;提供进入孔口的抽吸流的真空,所述抽吸流夹带来自气溶胶混合物的粒子及通过来自气溶胶混合物的粒子的冲击移去的目标粒子;及用于累积夹带在所述抽吸流中的粒子的收集介质。
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