[发明专利]正性光敏树脂组合物无效
申请号: | 200880131449.4 | 申请日: | 2008-12-31 |
公开(公告)号: | CN102177469A | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 俞龙植;赵显龙;郑斗瑛;李种和;郑知英;郑闵鞠;李吉成 | 申请(专利权)人: | 第一毛织株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李丙林;张英 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及正性光敏树脂组合物,其包括(A)聚酰胺聚合物,(B)酯化醌二叠氮化合物,(C)含酚基化合物,和(D)溶剂。正性光敏树脂组合物具有优异的耐热性,并能够提供高灵敏度和高分辨率的精细图案。 | ||
搜索关键词: | 光敏 树脂 组合 | ||
【主权项】:
1.一种正性光敏树脂组合物,包括:(A)由下式1表示的聚酰胺聚合物;(B)酯化醌二叠氮化合物;(C)含酚基化合物;和(D)溶剂;[化学式1]其中,上式1中,X1和X2相同或不同,并独立地是二价至四价有机基团,Y1和Y2相同或不同,并独立地是二价至六价有机基团,R1和R2相同或不同,并独立地是氢或C1至C5有机基团,E1和E2相同或不同,并独立地是氢、或衍生自一个选自由一元羧酸及其活性衍生物组成的组中的部分,条件是E1和E2不都为氢,m1和m2相同或不同,并独立地是0至100,且m1+m2在5至100的范围内。
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