[发明专利]X射线探测器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种X射线探测器，包括：具有多个光电探测像素的面板，光电探测像素响应于X射线的探测产生电信号；栅极驱动器，向多个光电探测像素提供栅极信号，其中，光电探测像素响应于栅极信号输出电信号；读出集成电路，读出由光电探测像素输出的响应于栅极信号的电信号；主板，包括控制器，该控制器接收来自读出集成电路的电信号并将电信号转换为图像信号；连接至面板和主板上的薄膜，该薄膜包含将读出集成电路电连接到面板和主板的信号线，其中，读出集成电路安装在薄膜上；以及屏蔽层，覆盖薄膜并包含有导电材料，其中，该屏蔽层防止外部施加的电磁信号穿透薄膜。

主权项

1. 一种X射线探测器，包括：面板，包括多个光电探测像素，所述光电探测像素用于响应于X射线的探测而产生电信号；栅极驱动器，用于向所述多个光电探测像素提供栅极信号，其中，所述光电探测像素响应于所述栅极信号输出所述电信号；读出集成电路，用于读出响应于所述栅极信号而从所述光电探测像素输出的所述电信号；主板，包括控制器，所述控制器用于接收来自所述读出集成电路的电信号，并将所述电信号转换为图像信号；薄膜，连接至所述面板和所述主板，所述薄膜包括将所述读出集成电路电连接至所述面板和所述主板的信号线，其中，所述读出集成电路安装在所述薄膜上；以及屏蔽层，用于覆盖所述薄膜，并包含有导电材料，其中，所述屏蔽层用于防止外部施加的电磁信号穿透所述薄膜。