[发明专利]包含功能构造体的功能器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200910001451.6 | 申请日： | 2009-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101513989A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 稻叶正吾 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在具有收容功能构造体的空洞部的功能器件中，通过降低覆盖空洞部的被覆部的变形，减轻动作不良、器件特性的偏差等问题。本发明的功能器件具备基板(11)、形成于该基板上的功能构造体(13A、15A)、配置有该功能构造体的空洞部(C)、和被覆该空洞部的被覆部D(19A、22)，所述功能器件的特征在于，所述被覆部D(19A、22)具有包括肋状部(19b)或槽状部(19c)的凹凸构造，其中，所述肋状部(19b)或槽状部(19c)至少横穿覆盖所述空洞部的被覆范围(20C)。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 功能 构造 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种功能器件，具备基板、形成于该基板上的功能构造体、配置有该功能构造体的空洞部、和被覆该空洞部的被覆部，所述功能器件的特征在于，所述被覆部具有包括肋状部或槽状部的凹凸构造，其中，所述肋状部或槽状部至少横穿覆盖所述空洞部的被覆范围。
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