[发明专利]水溶性感光聚酰亚胺聚合物、其制法及含其的光阻组合物

摘要

本发明有关一种水溶性感光聚酰亚胺聚合物、其制法以及含其的光阻组合物，该水溶性感光聚酰亚胺聚合物的特征为具有下式的重复单位：或式中，R₁为含有4个以上碳原子的四价有机基；R₂为3价或4价有机基，其上可视情况又带有羧基；R₃表示2价至4价有机基；A表示OH或COOH基；R₄及R₅可相同亦可不同，分别表示为含1至6个碳原子的亚烷基、含6至20个碳原子的亚芳基、亚芳烷基、亚芳氧基亚烷基；R₇及R₈可相同或不同且独立为选自氢、卤素、羧基、含1-20个碳的直链或环状烷基、含6-20个碳原子的芳基、烷芳基及芳烷基；R₉表示氢原子或含有1至6个碳原子的烷基；x表示1或2的整数；y表示0、1或2的整数；a、b及n表示大于或等于1的整数；m及k表示大于0的整数。

主权项

1.一种水溶性感光聚酰亚胺聚合物，其特征为具有下式(Ⅰ)的重复单位：式中，R₁为含有4个以上碳原子的四价有机基；R₂为3价或4价有机基，其上可视情况又带有羧基；R₃表示2价至4价有机基；A表示OH或COOH基；R₄及R₅可相同亦可不同，分别表示为含1至6个碳原子的亚烷基、含6至20个碳原子的亚芳基、亚芳烷基、亚芳氧基亚烷基；R₇及R₈可相同或不同且独立为选自氢、卤素、羧基、含1-20个碳的直链或环状烷基、含6-20个碳原子的芳基、烷芳基及芳烷基；R₉表示氢原子或含有1至6个碳原子的烷基；x表示1或2的整数；y表示0、1或2的整数；a、b及n表示大于或等于1的整数；m及k表示大于0的整数；且上述各重复单位可为嵌段聚合亦可为随机聚合。