[发明专利]改善倒装芯片基板变形的结构有效
申请号: | 200910002682.9 | 申请日: | 2009-01-19 |
公开(公告)号: | CN101783333A | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 张腾宇;林贤杰;江国春;何信芳 | 申请(专利权)人: | 南亚电路板股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H05K1/02 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 姜燕;陈晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种改善倒装芯片基板变形的结构,包括:提供一倒装芯片基板,其中该倒装芯片基板上具有上表面与相反的下表面;一对第一金属线路层,形成于该上表面与该下表面之上;一对介电层,形成于该对第一金属层之上;一对第二金属线路层,形成于该对介电层之上;一对抗焊绝缘层,形成于该对第二金属线路层之上,其中位于该上表面、该下表面上方的两抗焊绝缘层、两第二金属线路层或两介电层的厚度差至少约5μm。本发明利用调整介电层、金属线路层与抗焊绝缘层的厚度,即可改善倒装芯片基板弯曲的问题,工艺操作上比现有技术容易,并借由不对称结构的设计,同样能改善倒装芯片基板弯曲的问题,借以提高封装的良率。 | ||
搜索关键词: | 改善 倒装 芯片 变形 结构 | ||
【主权项】:
一种改善倒装芯片基板变形的结构,包括:提供一倒装芯片基板,其具有上表面与相反的下表面;一对第一金属线路层,形成于该上表面与该下表面之上;一对介电层,形成于该对第一金属层之上;一对第二金属线路层,形成于该对介电层之上;一对抗焊绝缘层,形成于该对第二金属线路层之上;其中位于该上表面、该下表面上方的两抗焊绝缘层、两第二金属线路层或两介电层的厚度差至少约5μm。
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