[发明专利]具有弹性膜的多区域承载体有效
| 申请号： | 200910002938.6 | 申请日： | 2005-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101456154A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陈珲驰;吴钟铉;茨辛·修;托马斯·布雷佐斯基;史蒂文·M·苏尼加 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B37/04;B24B7/22;H01L21/304;B24B41/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于基材的化学机械研磨程序的承载体(carrier head，或称承载头)，其包括一基底与一个延伸在基底下方的弹性膜。该弹性膜包括一个具有一外表面的中心部位，以提供一基材接收表面；一边缘部位，以连接该中心部位与该基底；以及至少一个由该中心部位的内表面延伸出的褶板。该褶板将弹性膜与基底之间的容积分割成数个腔室，且该褶板包括一个横向延伸的第一部位与一个弯曲的第二部位，该弯曲的第二部位延伸在该第一部位的下方，且连接该横向延伸的第一部位至该中心部位。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 弹性 区域 承载 | ||
【主权项】：
1. 一种与基材化学机械研磨装置的承载体一起使用的弹性膜，该弹性膜包括：中心部位，该中心部位具有提供基材接受表面的外表面、内侧部位、以及围绕该内侧部分的周边部位；边缘部位，连接该周边部位至承载体的基底；以及至少一环状褶板，由该内侧部位的内表面延伸出，该褶板包括横向延伸的第一部位与弯曲的第二部位，该第二部位在第一部位和中心部位之间延伸；其中横向延伸第一部位的下表面和弯曲的第二部位的上表面界定所述数个腔室中的同一个腔室。
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