[发明专利]用于衬底保持装置中的弹性部件以及衬底抛光装置和方法有效
| 申请号： | 200910003370.X | 申请日： | 2004-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN101474771A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 户川哲二;吉田博;锅谷治;福岛诚;深谷孝一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B37/04;H01L21/683;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于衬底保持装置中的弹性部件，其包括与衬底接触的接触部分以及与所述接触部分和所述衬底保持装置的可垂直移动部件相连的周壁，所述周壁能够在所述接触部分与所述衬底保持接触的同时垂直伸展和收缩。本发明还涉及具有所述弹性部件的衬底抛光装置和衬底抛光方法，所述衬底抛光方法包括：通过具有压力腔室的顶环保持衬底；使所述衬底与抛光表面滑动接触，同时将流体供给到所述压力腔室中，以将压力施加到所述衬底上；停止所述流体供给；通过真空抽吸将所述衬底吸附到所述顶环上；将所述顶环与所述衬底一起移动到传送位置；以及通过将流体喷射到所述衬底上使所述衬底脱离所述顶环。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 保持 装置 中的 弹性 部件 以及 抛光 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于衬底保持装置中的弹性部件，包括：与衬底接触的接触部分；以及与所述接触部分和所述衬底保持装置的可垂直移动部件相连的周壁，所述周壁能够在所述接触部分与所述衬底保持接触的同时垂直伸展和收缩。
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