[发明专利]具有多层结构的石英玻璃坩埚有效
申请号: | 200910003377.1 | 申请日: | 2009-01-22 |
公开(公告)号: | CN101724887A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 小玉真喜子;森川正树 | 申请(专利权)人: | 日本超精石英株式会社 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张平元 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种石英玻璃坩埚,其即使在制造(提拉)大型化的硅单晶时,也可抑制熔融硅的局部温度偏差,制造(提拉)均匀的硅单晶。硅单晶提拉用石英玻璃坩埚,其从坩埚内表面侧至外表面侧至少具有透明层、半透明层和不透明层,其中,透明层气泡含有率小于0.3%,半透明层气泡含有率为0.3%~0.6%的范围,不透明层气泡含有率大于0.6%。 | ||
搜索关键词: | 具有 多层 结构 石英玻璃 坩埚 | ||
【主权项】:
一种石英玻璃坩埚,其为硅单晶提拉用石英玻璃坩埚,从坩埚内表面侧至外表面侧至少具有透明层、半透明层和不透明层,其中,透明层气泡含有率小于0.3%,半透明层气泡含有率为0.3%~0.6%的范围,不透明层气泡含有率大于0.6%。
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