[发明专利]硅单晶提拉用石英玻璃坩埚的制造方法

摘要

本发明提供不进行内表面的全面磨削处理即可减少透明层中气泡量的硅单晶提拉用石英玻璃坩埚的新型制造方法。该方法包括下述步骤：通过对由石英原料粉形成的坩埚形状成型体从内表面向外表面方向减压、并使上述坩埚形状成型体旋转的同时进行电弧熔融形成内表面侧为透明层、外表面侧为起泡层的石英玻璃坩埚的步骤；底部方向移动步骤，即利用电弧熔融使石英玻璃坩埚的壁部内表面再熔，使存在于上述壁部内表面的透明层中的气泡向上述壁部内表面的底部方向移动的步骤；以及，外周方向移动步骤，即利用电弧熔融使石英玻璃坩埚的底部内表面再熔，使存在于上述底部内表面的透明层中的气泡向上述底部内表面的外周方向移动的步骤。通过本发明的制造方法，可得到在壁部内表面和底部内表面形成的透明层的角落处积聚气泡的石英玻璃坩埚。不论是先实施底部方向移动步骤还是外周方向移动步骤都可以。

主权项

一种硅单晶提拉用石英玻璃坩埚的制造方法，该方法包括如下步骤：向旋转的模具中供给石英原料粉形成坩埚形状的成型体的步骤；石英玻璃坩埚形成步骤，该步骤包括，通过对上述坩埚形状成型体从内表面向外表面方施加减压，并使上述坩埚形状成型体旋转，同时对其进行电弧熔融，由此形成石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚的内表面侧为透明层、外表面侧为气泡层，在上述形成石英玻璃坩埚的步骤中，至少在电弧熔融的一部分过程中进行上述减压；底部方向移动步骤，即利用电弧熔融使所述石英玻璃坩埚的壁部内表面再熔融，使上述壁部内表面的透明层中存在的气泡向上述壁部内表面的底部方向移动；和外周方向移动步骤，即利用电弧熔融使所述石英玻璃坩埚的底部内表面再熔融，使上述底部内表面的透明层中存在的气泡向上述底部内表面的外周方向移动；其中，底部方向移动步骤和外周方向移动步骤均可在先实施，从而得到在壁部内表面和底部内表面所形成的透明层角落处积聚气泡的石英玻璃坩埚。