[发明专利]铰接式探头

摘要

一种校准铰接式探头的方法，包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤，其中，所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量，从而确定其真实尺寸，其中，所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁，以锁定所述铰接式探头的轴。

主权项

1. 一种铰接式探头，包括用于安装在支架上的第一固定物和其上能安装表面检测设备的第二固定物，第二固定物能相对于第一固定物而围绕一个或多个轴线进行旋转，其特征在于，所述铰接式探头设置有至少一个机械式制动器，以锁定第二固定物绕至少一个轴线相对于第一固定物的位置；并且提供至少一个位置测量设备，以在锁定位置确定第二固定物绕所述至少一个轴线相对于第一固定物的位置。