[发明专利]具有含铝铬硬质材料层的工件及其制备方法有效
| 申请号： | 200910006136.2 | 申请日： | 2004-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101550529A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | V·德尔夫林格;A·赖特;C·盖 | 申请（专利权）人： | 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳;林 森 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含层体系的工件或构件，该层体系含至少一层组成为(AlyCr1-y)X的层，其中x＝N、C、B、CN、BN、CBN、NO、CO、BO、CNO、BNO或CBNO，并且0.2≤y＜0.7，在层中的层组成基本上是恒定的或经层厚度呈连续的或分层次的变化。本发明还涉及制备该工件或构件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 含铝铬 硬质 材料 工件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在工件上淀积至少一层(AlyCr1-y)X层的PVD方法，其中X＝N、C、B、CN、BN、CBN、NO、CO、BO、CNO、BNO或CBNO，并且0.2≤y＜0.7，方法中在含至少一个0.25≤z≤0.75的AlzCr1-z靶的真空涂覆装置中置入至少一个工件，并在压力为0.5-8Pa和加入含氮、含碳、含硼或含氧的反应性气体，并在工件上施加-3至-150V的基片偏压的条件下用电弧源或溅射源如此运行，以使在至少一层(AlyCr1-y)X层内的层组成基本上呈恒定或经层厚呈连续或分层次的变化。
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