[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括：基板，其具有传感器阵列区域和外围电路区域；第一绝缘膜结构，其形成于外围电路区域上，该第一绝缘膜结构包括多个第一多层布线线路；以及第二绝缘膜结构，其形成于传感器阵列区域上，该第二绝缘膜结构包括多个第二多层布线线路。多个第一多层布线线路的最上层布线线路比多个第二多层布线线路的最上层布线线路高。第一绝缘膜结构包括各向同性蚀刻终止层，第二绝缘膜结构不包括各向同性蚀刻终止层。

主权项

1. 一种图像传感器，其包括：基板，其具有传感器阵列区域和外围电路区域；第一绝缘膜结构，其形成于所述外围电路区域上，所述第一绝缘膜结构包括多个第一多层布线线路；以及第二绝缘膜结构，其形成于所述传感器阵列区域上，所述第二绝缘膜结构包括多个第二多层布线线路，其中所述多个第一多层布线线路的最上层布线线路比所述多个第二多层布线线路的最上层布线线路高，所述第一绝缘膜结构包括各向同性蚀刻终止层，所述第二绝缘膜结构不包括所述各向同性蚀刻终止层。