[发明专利]测量设备无效
| 申请号： | 200910007273.8 | 申请日： | 2009-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101498571A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 西辻丰;木村义治 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 何秀明 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种测量设备，其标尺座在多个排列在测量方向(Y方向)上的位置固定到基底上，在该测量方向上由标尺进行测量。狭缝设置在标尺座上，其位置是在标尺座固定到基底的位置之间。在标尺座固定到基底上的两个或更多个位置上，由标尺座支撑标尺。除了标尺座固定至基底的位置以外，基底和标尺座之间在适当位置，以及除了标尺座支撑标尺的位置以外，标尺和标尺座之间在适当位置，标尺座分别具有间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种测量设备，包括：基底；在基底的多个位置上固定至基底的标尺座，该基底位于由标尺实施测量的测量方向上；支撑在标尺座上的标尺；以及在位于标尺座固定至基底的位置之间的位置中，至少在标尺座中提供的狭缝，其中，在标尺座固定至基底的两个或多个位置处，通过标尺座支撑标尺，和其中，除了标尺座固定至基底的位置以外，基底和标尺座之间在适当位置，以及除了标尺座支撑标尺的位置以外，标尺和标尺座之间在适当位置，标尺座分别具有间隙。
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