[发明专利]多安瓿输送系统

摘要

本发明涉及一种多安瓿输送系统，其中集成的蒸气或液体相反应剂分配设备具有多个容器和多个载体或惰性气体供应/蒸气或液体相反应剂输送歧管，用来连续分配蒸气或液体相反应剂，例如用于在半导体材料和器件制造过程中材料沉积的前体。

主权项

1.一种集成的蒸气相反应剂分配设备，包括：多个容器，每个容器包括构造成形成内部容器隔室的顶壁构件、侧壁构件和底壁构件，以便保持源化学品高达填充高度，并且另外限定填充高度以上的内部气体容积；顶壁构件的一部分具有载体气体供应入口开口，载体气体可经由其中供应到填充高度以上的所述内部气体容积，以便造成所述源化学品的蒸气变得携带在所述载体气体内，从而产生蒸气相反应剂；以及顶壁构件的一部分具有蒸气相反应剂出口开口，所述蒸气相反应剂可经由其中从所述容器分配；多个载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管，每个所述载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管互连；每个容器连接到至少一个载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管；每个载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管包括载体气体供应管线和蒸气相反应剂排放管线；所述载体气体供应管线从载体气体供应入口开口向上并从顶壁构件外部延伸，以便将载体气体输送到填充高度以上的所述内部气体容积，载体气体供应管线其中包括一个或多个载体气体流动控制阀，以便控制载体气体在其中的流动；并且所述蒸气相反应剂排放管线从蒸气相反应剂出口开口向上并从顶壁构件外部延伸，以便从填充高度以上的所述内部气体容积去除蒸气相反应剂，蒸气相反应剂排放管线其中任选地包括一个或多个蒸气相反应剂流动控制阀，以便控制蒸气相反应剂在其中的流动；以及一个或多个控制器，用于与每个所述载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管和每个所述容器连通，其方式是每个所述载体气体供应/蒸气相反应剂输送歧管可相互独立操作，并且每个所述容器可相互独立操作。