[发明专利]在沉积工艺期间在硅棒中产生均匀温度分布的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于在根据Siemens方法的硅沉积期间向至少一个硅棒(3)提供电流的装置，该装置具有至少一个输入端(E)，该至少一个输入端适于并被设置为将所述装置连接到用于提供电能的供电网(N)；具有至少一个输出端(A)，该至少一个输出端可以与至少一个硅棒(3)连接；具有至少一个交流电调节器(1)，该至少一个频率转换器适于并被设置为向至少一个与该至少一个输出端(A)连接的硅棒(3)提供来自电能供应网(N)的电流，其中所述装置还具有至少一个频率转换器(2)，该至少一个频率转换器适于并被设置为向至少一个与该至少一个输出端(A)连接的硅棒(3)提供来自电能供应网(N)的电流，该电流具有比交流电调节器(1)提供的电流更高的频率。

主权项

1.一种用于在根据Siemens方法的硅沉积期间为至少一个硅棒(3)供电的装置，其中所述装置：-具有至少一个输入端(E)，其中所述至少一个输入端适于并被设置为将所述装置连接到用于提供电能的供电网(N)，-具有至少一个输出端(A)，其中所述至少一个硅棒(3)可连接到所述至少一个输出端，-具有至少一个交流电调节器(1)，其中所述至少一个频率转换器适于并被设置为向所述至少一个连接到所述至少一个输出端(A)的硅棒(3)提供来自所述供电网(N)的电流，其特征在于，-所述装置还具有至少一个频率转换器(2)，其中所述至少一个频率转换器适于并被设置为向所述至少一个连接到所述至少一个输出端(A)的硅棒(3)提供频率比由所述交流电调节器(1)所提供的电流的频率高的来自所述供电网(N)的电流。