[发明专利]一种乐甫波气体传感器无效
| 申请号： | 200910008940.4 | 申请日： | 2009-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101644696A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;刘久玲;程利娜;何世堂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨小蓉 |
| 地址： | 100190北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种乐甫波气体传感器，包括：压电基片、沉积在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器、以及覆盖在所述压电基片以及输入叉指换能器和输出叉指换能器上面的敏感膜，其中，该敏感膜为半导体型气敏材料层，输入叉指换能器在压电基片中激发声波并传播，输出叉指换能器用于接收声波，当加载的被测物与敏感膜发生反应后会导致声波的特性发生变化，通过检测这些变化而得到关于被测物的特性结论。本发明的乐甫波气体传感器能够克服现有半导体型传感器检测下限不高的缺陷，从检测手段方面改善传感器性能，将乐甫波传感器的结构，与现有的半导体型固体气敏膜技术相结合，实现高灵敏度、稳定的气体检测功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 乐甫波 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种乐甫波气体传感器，包括：压电基片、沉积在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器、以及覆盖在所述压电基片以及输入叉指换能器和输出叉指换能器上面的敏感膜，其特征在于：所述敏感膜为半导体型气敏材料层，所述输入叉指换能器在所述压电基片中激发声波并传播，所述输出叉指换能器用于接收声波，当加载的被测物与所述敏感膜发生反应后会导致声波的特性发生变化，通过检测这些变化而得到关于所述被测物的特性结论。
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